Kä ye ɣaac wei

Athöör cïï thöŋ ke Quartz

Cɛɛmïkonduktör Vënt Clëïngïn (Rïn Ke Cirka)

Ventilätör = Pürgë Wïndö (Cävïtï Öptïk Wïndö).

"Ventilator" acie kën ë tɔ̈ɔ̈u de wafer, ku ee kën ë tɔ̈ɔ̈u de käŋ ë tɔ̈ɔ̈u de käŋ ë tɔ̈ɔ̈u (tɔ̈ɔ̈u de käŋ ë tɔ̈ɔ̈u) ë tɔ̈ɔ̈u, ëya dɛ̈t tën ë tɔ̈ɔ̈u de käŋ ë tɔ̈ɔ̈u/PVD/CVD, acie tɔ̈ɔ̈u de luɔi de wafer.

Cɔl ɣook

Yeŋö ye Wëër?

Awëër ye tïŋ ke quartz tɔ̈u në kë cï thuur wala PECVD, cï tääu në kueer de aliir ye aliir lɔɔkic në awër kɔ̈u. Yen aliir kën ee kä ye bɛ̈n bei thïn gël bïk cïï tɔ̈u në piny de quartz ye ɣɛɛr lɛɛr aɣeer. Në thoŋ de cirka, aye cɔl awër de pïu ë pïu ë pïu ë pïu.

- Käk: Silica cï liääp ke pïu dït apɛi (kɔ̈k aye luui në sapphire), ye lac tɔ̈ ke cïn kë thöŋ ke thöŋ ke thöŋ ke thöŋ ke thöŋ/thɔ̈ɔ̈ŋ de thöŋ, ke nɔŋ thök cï thök ku thök ë thök ë rou;

- Acï tääu në päny kɔ̈u/tënë nhom de plasma ë pïu yiic tënë yök de thök de pïu ku thëm de pïu ë pïu yiic;

- Në thɛɛr ke luɔi, ka lëu bï ya thiɔ̈ɔ̈ŋ në kä ye tɔ̈ në silicon yic ku kä ye tɔ̈ në fluoride yic, ku ye pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu. Yën awïc bï nyaai, tɔ̈ɔ̈u, ku tɔ̈ɔ̈u—kënë ee tɔ̈ɔ̈u de pïu ë pïu.

Cirka

Baŋ Dït

Ajuɛɛr de gël de käŋ/kä cï döŋ piny ke käke luɔi de semiconductor (ee käke luɔi de käke luɔi (MRO), acie biäk de ajuɛɛr de luɔɔi de wafer)
Ɣön de Käke Käŋ thöŋ

Tɛ̈ yenë käŋ tääu thïn në pïu yiic (Etch) > PECVD/CVD yenë käŋ tääu në käŋ yiic, ee kë thiekic apɛi në gël de käŋ në dhöl yenë käŋ looi në PMs.
Wɛ̈ɛ̈r nhial ku piny

Akutnhom de käke luɔi de Wafer fab → Akutnhom de diäk de gël de käŋ ku gël de käŋ → Akutnhom de käke Quartz (Ɣok atɔ̈u në akutnhom de käke luɔi de käŋ tɔ̈u nhial)

Kë ciëën de Vent Clëängïn ön thë Prödüctïön Lïnë

Në thɛɛr ke thuɔ̈ɔ̈r, kë ye rot looi ee kä juëc ke polymer bɛ̈i, kɔ̈k ke kek aye röt tääu në baŋ thïn de aliir de quartz:

Kä thiek cï röt tääu thïn aye kä ye nyuɔɔth ke UV cɔk riääk, ku ye kä cïï thöŋ ke thök de etching bɛ̈i ku ye wafer cɔk thök;

Käk ë pïu yiic aye röt jäl ku löönykë piny në wafer nhom, ku yekë kä rɛc ë yield bɛ̈i;

Në thɛɛr ke gël de PM de dhöl de luɔi, ke ɣön ë pïu aye nyaai ku tuɔɔc bï bɛɛr looi ku bï pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu, ku bï pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu ë pïu.

Wuɔ̈ɔ̈c de kaam de Awëër de Purge ku Të yenë ye tïŋ thïn në nyindhiɛ

Kä thiekiic ye keek lueel

	Awër de Purge	Të ye tïŋ thïn akölriëëc
Kä cï looi	Kenë nitrogen yenë aliir lɔɔkic	Awëër de quartz cï thiɔ̈ɔ̈ŋ kɔ̈c yic, acïn kueer yenë aliir lɔɔkic thïn
Kë kɔɔr	Yök de thök, thëm de atuɔ̈c de kueer de kä ye tïŋ (kë ye tïŋ ciɛɛl)	Kë ye tïŋ de kë cï wec
Ciin de kä cï riääk	Tɔ̈u nhial, ajuɛɛr de kä ye bɛ̈n bei thïn aye röt gɛɛi ke kɔ̈c yic	Kë thiääk ke nuur
Tɛ̈ yenë käŋ lɔɔkic thïn	Tɔ̈ nhial, të cï wec thïn aye lac tɛ̈ɛ̈kic ku lɔɔkic	Ye piny
Wɔ̈r	Kä juëc cïï thöŋ: aguɔ̈p kaa bɛ̈t, aguɔ̈p juëc (këdu)	Kë cï gölic, maraba

Kuɔ̈ɔ̈t ku Gɛɛr de käŋ

Yeŋö ye lɔc Kuartz ë Piny Ciëën?

Quartz tɔ̈ në baŋ ciɛɛm ee rot gɛɛi në kä tɔ̈ në pïu yiic tɔ̈ në Donghai County, ku ka ye rot mat apɛi në luɔɔi dït de pïu yiic, ku ka cï bɛ̈n ya raan ë tɔ̈ në pinynhom ëbɛ̈n. Käŋ kedhiɛ aye kek them në käjuëc yiic cïmën de yök de helium mass spectrometry, thëm de aliir, ku jɔl ya thëm de piath de käŋ ke këc kek jäl në cirka yic agokë ya luui apath, ku cïn kä rɛc ye röt looi, ku cïn kë rɛɛc ye röt looi.