Tuotteet

Kvartsi epäsäännöllisen muotoiset levyt

Puolijohteiden tuuletusaukkojen puhdistus (alan yleinen nimi)

Hengityslaite = Puhdistusikkuna (ontelon optinen ikkuna).

”Tuuletin” ei ole kiekkojen puhdistusta, vaan se kuuluu puolijohdelaitteiden komponenttien regenerointipuhdistuksen (varaosien huolto) alaan, erityisesti etsaus-/PVD-/CVD-laitteiden onteloiden huoltoalueeseen, ei kiekkojen prosessipuhdistukseen.

Ota yhteyttä

Mikä on Tuuleta?

Kvartsioptinen ikkuna syövytys- tai PECVD-ontelossa, jossa on typpipuhdistuskaasureitti ikkunan takaosassa. Tämä kaasuverho estää prosessin sivutuotteiden kertymisen kvartsin valoa läpäisevään pintaan. Tehdaskielessä sitä kutsutaan tuuletus- tai puhdistusikkunaksi.

- Materiaali: Erittäin puhdasta piidioksidia (jotkut käyttävät safiiria), usein epäsäännöllisen muotoinen monikulmainen/kahdeksankulmainen, himmeällä reunalla ja kaksipuolisella kiillotuksella;

- Asennettu plasmaontelon sivuseinälle/yläosaan päätepisteen havaitsemisen spektrin hankintaa ja infrapunalämpömittausta varten;

- Prosessin aikana se voi peittyä piipohjaisiin polymeereihin ja fluoridikertymiin, mikä heikentää valonläpäisyä ja laukaisee laitehälytykset. Se on poistettava, puhdistettava ja regeneroitava – tätä kutsutaan hengityskoneen puhdistukseksi.

Toimiala

Pääsektori

Puolijohdelaitteiden osien tarkkuusregenerointi/varaosien puhdistus (kuuluu laitteiden huoltoon (MRO), ei osa pääasiallista kiekkojen valmistusprosessia)
Vastaava laitekammio

Kuivaetsaus (Etch) > PECVD/CVD-ohutkalvopinnoituslaitteet, olennainen osa tuotantolinjojen projektipäälliköiden ennaltaehkäisevää huoltoa.
Ylävirtaan ja alavirtaan

Kiekkojen valmistuslaitteisto → Kolmannen osapuolen regenerointi- ja puhdistuspalvelujen tarjoaja → Kvartsikomponenttien valmistaja (kuulumme varaosien valmistukseen ylävirran puolella)

Tausta Ilmanvaihtokanavien puhdistus tuotantolinjalla

Etsauksen aikana reaktio tuottaa suuren määrän polymeerien sivutuotteita, joista osa kerrostuu kvartsituulettimen sisäpinnalle:

① Paksut kerrostumat vaimentavat UV-spektrisignaalia, mikä johtaa epätarkkaan etsauspäätepisteen havaitsemiseen ja aiheuttaa suoraan kiekon romuttamista;

② Hiukkaset irtoavat ja putoavat kiekon pinnalle aiheuttaen saantovirheitä;

③ Tuotantolinjan PM-huollon aikana tuuletusaukko irrotetaan ja lähetetään regenerointiin ja puhdistukseen kerrostuman poistamiseksi, valonläpäisyn palauttamiseksi ja uudelleenkäytön mahdollistamiseksi, mikä vähentää varaosien hankintakustannuksia.

Tyhjennysikkunan ja tavallisen näkymän välinen ero

Tärkeimmät tekniset tiedot

	Tyhjennysikkuna	Normaali näkymä
Rakenne	Typpipuhdistusilmaverholiitännällä	Yksinkertainen suljettu kvartsi-ikkuna, ei puhdistusilmareittiä
Hakemus	Päätepisteen tunnistus, lämpötilan mittauksen optinen polku (ydinoptiikka)	Ontelon visuaalinen tarkastelu
Saastumisaste	Korkea, prosessin sivutuotteet tarttuvat erittäin helposti	Suhteellisen kevyt
Puhdistustiheys	Korkea, syövytysontelo puretaan ja puhdistetaan usein	Matala
Muoto	Monet epäsäännölliset muodot: kahdeksankulmainen, monikulmainen (oma tuote)	Enimmäkseen pyöreä, neliönmuotoinen

Pakkaus ja toimitus

Miksi valita Kaakkoiskvartsi?

Southeast Quartz luottaa Donghain piirikunnan erittäin korkealaatuisiin kvartsimalmivaroihin, harjoittaa syvällistä kvartsilasin syväkäsittelyä ja on tullut globaalien asiakkaiden ydintoimittajaksi. Kaikki tuotteet käyvät läpi useita testejä, kuten heliummassaspektrometrialla tehtävän vuotojen havaitsemisen, paineenkestävyystestin ja puhtaustestin, ennen kuin ne lähtevät tehtaalta vakaan suorituskyvyn, epäpuhtauksien ja vuotojen välttämiseksi.