Fournisseur de cloches en quartz sur mesure | Composants de précision pour le vide en quartz

Matières premières de haute pureté

Nous utilisons exclusivement de la silice fondue de haute pureté, garantissant des impuretés métalliques négligeables (SiO2 ≥ 99,99 %). Ceci assure une absence totale de contamination lors des procédés de dépôt et de traitement thermique de couches minces de semi-conducteurs sensibles.

Stabilité thermique et sous vide

Grâce à leur coefficient de dilatation thermique extrêmement faible, nos cloches en quartz et nos chambres à vide sur mesure conservent leur intégrité structurelle sous des chocs thermiques allant jusqu'à 1200 °C et dans des configurations de vide poussé.

Personnalisation flexible

Nous assurons la fabrication complète, de la transformation des matières premières aux pièces sur mesure les plus complexes. Nous respectons scrupuleusement les spécifications de votre système, les profils de brides et les configurations de ports, avec une précision dimensionnelle irréprochable.

Le client suprême

Fidèles à notre philosophie « La qualité avant tout, le client au centre de nos préoccupations, l’innovation au service de la performance, et une gestion intègre », nous avons mis en place un modèle d’assistance centré sur le client. Nous intégrons nos équipes d’ingénierie à vos équipes de R&D afin de concevoir des solutions quartz optimisées.

Contrôle de qualité

Tous les produits finis sont soumis à de multiples tests rigoureux avant de quitter l'usine. Ces tests comprennent la détection de fuites par spectrométrie de masse à l'hélium pour vérifier l'intégrité du vide, des tests de pression à haute température et une vérification de la pureté chimique afin de garantir l'absence de défauts.

Services personnalisés

Nous savons que chaque système est unique. C'est pourquoi nous proposons une personnalisation flexible, en ajustant les dimensions, les types de brides, les épaisseurs de paroi et les configurations d'entrée de gaz afin de répondre aux paramètres spécifiques de votre équipement et aux exigences de votre procédé.

Fabrication de semi-conducteurs

Utilisés dans les chambres de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), de diffusion et d'oxydation, nos cloches à vide, nos porte-plaquettes et nos tubes d'arrivée de gaz sur mesure garantissent un environnement propre et exempt de contamination pour le traitement des plaquettes.

Solaire et photovoltaïque (PV)

Élément crucial pour la croissance des lingots de silicium et les procédés de diffusion sur plaquettes, nos tubes de quartz surdimensionnés et nos nacelles en quartz haute température résistent aux cycles thermiques continus de la fabrication des cellules solaires.

Laboratoire et recherche

Idéal pour l'analyse chimique, la distillation et les réactions à haute température. Nos béchers, flacons et tubes de digestion offrent une inertie chimique et une résistance extrême aux chocs thermiques.

Q1 : Quelles qualités de matières premières utilisez-vous pour les cloches en quartz ?

Nous utilisons de la silice fondue de haute pureté, dont la teneur en SiO2 dépasse 99,99 %. Cette qualité se caractérise par une teneur extrêmement faible en groupes hydroxyle (OH) et des concentrations négligeables en métaux traces (Fe, Al, Ca, Mg, Ti), ce qui la rend idéale pour la fabrication de semi-conducteurs et le traitement sous vide poussé, sans risque de contamination.

Q2 : Quelle est la limite thermique maximale de vos chambres en quartz ?

Nos composants en quartz peuvent fonctionner en continu à des températures allant jusqu'à 1100 °C. Pour les procédés de courte durée, ils supportent des pics thermiques jusqu'à 1200 °C. Le quartz fondu possède également un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible, ce qui empêche les fissures lors de cycles thermiques rapides.

Q3 : Comment vérifiez-vous l'étanchéité à l'air et aux fuites ?

Toutes les cloches à vide en quartz sur mesure sont soumises à un contrôle rigoureux des fuites par spectrométrie de masse à l'hélium. Ce test permet de détecter les microfissures ou la porosité des soudures, garantissant ainsi le maintien des niveaux de pression essentiels au dépôt de couches minces et au traitement plasma.

Q4 : Pouvez-vous personnaliser les brides et les ports en quartz ?

Oui. Nous sommes spécialisés dans les fabrications sur mesure. Nous pouvons souder des brides rectifiées, des brides KF/ISO, des entrées de gaz et des ports de capteurs directement sur le corps de la cloche à vide. Nous travaillons à partir de plans techniques (CAO/STEP) afin de garantir un alignement précis avec vos systèmes de vide.