Produits

Feuilles de quartz de forme irrégulière

Nettoyage des conduits de ventilation des semi-conducteurs (nom courant dans l'industrie)

Ventilateur = Fenêtre de purge (fenêtre optique de la cavité).

Le terme « ventilateur » ne désigne pas le nettoyage de plaquettes, mais relève du domaine du nettoyage de régénération des composants d'équipements semi-conducteurs (maintenance des pièces de rechange), plus précisément du domaine de la maintenance des cavités des équipements de gravure/PVD/CVD, et non du nettoyage des plaquettes.

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Qu'est-ce qu'un Ventilation ?

Une fenêtre optique en quartz, située sur une cavité de gravure ou de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), est équipée d'un circuit de purge à l'azote à l'arrière. Ce rideau de gaz empêche les sous-produits du procédé de se déposer sur la surface transparente du quartz. Dans le jargon industriel, on l'appelle fenêtre de purge.

- Matériau : silice fondue de haute pureté (certains utilisent du saphir), souvent de forme polygonale/octogonale irrégulière, avec des bords dépolis et un polissage double face ;

- Installé sur la paroi latérale/le dessus de la cavité plasma pour l'acquisition spectrale de détection du point final et la thermométrie infrarouge ;

Au cours de ce processus, des polymères à base de silicone et des dépôts de fluorure peuvent se former, réduisant la transmission de la lumière et déclenchant les alarmes des équipements. Il est alors nécessaire de le retirer, de le nettoyer et de le régénérer : c’est le nettoyage du ventilateur.

Secteur industriel

Secteur majeur

Régénération de précision/nettoyage des pièces de rechange des composants d'équipements semi-conducteurs (relève de la maintenance des équipements (MRO), et ne fait pas partie du processus principal de fabrication des plaquettes)
Chambre d'équipement correspondante

Gravure sèche (Etch) > Équipement de dépôt de couches minces PECVD/CVD, un élément crucial de la maintenance préventive effectuée par les PM de la ligne de production.
En amont et en aval

Département des équipements de fabrication de plaquettes → Prestataire de services tiers de régénération et de nettoyage → Fabricant de composants en quartz (Nous appartenons au secteur de la fabrication de pièces détachées en amont)

Contexte Nettoyage des conduits d'aération sur la chaîne de production

Lors de la gravure, la réaction génère une grande quantité de sous-produits polymères, dont certains se déposent sur la surface intérieure de l'évent en quartz :

① Les dépôts épais atténuent le signal spectral UV, ce qui entraîne une détection inexacte du point final de gravure et provoque directement la mise au rebut de la plaquette ;

② Les particules se détachent et tombent sur la surface de la plaquette, provoquant des défauts de rendement ;

③ Lors de la maintenance PM de la ligne de production, l'évent est retiré et envoyé pour régénération et nettoyage afin d'éliminer la couche de dépôt, de rétablir la transmission de la lumière et de permettre la réutilisation, réduisant ainsi les coûts d'approvisionnement en pièces de rechange.

Différence entre la fenêtre de purge et la fenêtre d'affichage standard

Caractéristiques principales

	Fenêtre de purge	Fenêtre d'affichage standard
Structure	Avec interface de rideau d'air à purge d'azote	Fenêtre en quartz scellée simple, sans circuit d'air de purge.
Application	Détection du point final, chemin optique de mesure de température (optique centrale)	Observation visuelle de la cavité
Niveau de contamination	Les sous-produits du procédé, de haute qualité, adhèrent très facilement.	Relativement léger
Fréquence de nettoyage	La cavité de gravure de haute qualité est fréquemment démontée et nettoyée.	Faible
Forme	De nombreuses formes irrégulières : octogonales, polygonales (votre produit)	Principalement rond, carré

Conditionnement et expédition

Pourquoi choisir Quartz du Sud-Est ?

Southeast Quartz s'appuie sur les ressources en minerai de quartz de haute qualité du comté de Donghai et se spécialise dans la transformation du verre de quartz, ce qui lui a permis de devenir un fournisseur incontournable pour une clientèle internationale. Avant leur expédition, tous les produits sont soumis à de multiples tests, tels que la détection d'étanchéité par spectrométrie de masse à l'hélium, un test de résistance à la pression et un test de pureté, afin de garantir leur performance optimale, l'absence d'impuretés et l'absence de fuites.