客製化石英鐘罩供應商 | 精密石英真空組件

高純度原料

我們只採購高純度熔融石英，確保金屬雜質含量極低（SiO2 ≥ 99.99%）。這保證了敏感的半導體薄膜沉積和熱處理過程中不會產生任何污染。

熱穩定性和真空穩定性

由於熱膨脹係數極低，我們客製化的石英鐘罩和真空室在高達 1200°C 的熱衝擊和深真空配置下仍能保持結構完整性。

靈活客製化

我們提供從原料加工到複雜客製化加工的全流程製造服務。我們能夠精確地匹配您的系統規格、法蘭輪廓和連接埠配置。

至尊客戶

秉持著「品質第一、客戶至上、創新驅動、誠信經營」的理念，我們建構了以客戶為中心的服務模式。我們將工程團隊與您的研發團隊緊密合作，共同設計優化的石英解決方案。

品質管制

所有成品在出廠前均需經過多項嚴格測試，包括氦氣質譜洩漏檢測（用於檢驗真空完整性）、高溫高壓測試和化學純度驗證，以確保零缺陷。

客製化服務

我們深知每個系統都不盡相同。因此，我們提供靈活的客製化服務，可調整尺寸、法蘭類型、壁厚和氣體入口配置，以滿足您特定的設備參數和製程要求。

半導體製造

適用於化學氣相沉積 (CVD)、擴散和氧化反應室。我們客製化的鐘罩、晶圓舟和氣體入口管可確保晶圓加工環境潔淨無污染。

太陽能和光伏（PV）

在矽錠生長和晶片擴散製程中至關重要。我們超大尺寸的石英管和耐高溫石英舟能夠承受太陽能電池製造過程中持續的熱循環。

實驗室與研究

適用於化學分析、蒸餾和高溫反應。我們的燒杯、燒瓶和消解管具有化學惰性和極佳的耐熱衝擊性。

Q1：你們生產石英鐘罩時使用哪些等級的原料？

我們使用二氧化矽含量超過 99.99% 的高純度熔融石英。這種等級的石英具有極低的羥基 (OH) 含量和可忽略不計的微量金屬濃度（鐵、鋁、鈣、鎂、鈦），使其成為半導體和高真空加工的理想材料，而不會造成污染風險。

Q2：你們的石英腔體的最高耐熱極限是多少？

我們的石英元件可在高達 1100°C 的溫度下連續運作。對於短期工藝，它們可以承受高達 1200°C 的熱峰值。熔融石英還具有極低的膨脹係數，可防止在快速熱循環過程中開裂。

Q3：如何驗證真空和無洩漏性能？

所有客製化的石英真空鐘罩均經過嚴格的氦質譜洩漏檢測。此測試可識別微裂紋或焊接氣孔，確保腔室維持薄膜沉積和等離子體處理所需的壓力水平。

Q4：你們可以訂製石英法蘭和端口嗎？

是的，我們專精於客製化加工。我們可以將客製化的接地法蘭、KF/ISO法蘭、氣體入口和感測器介面直接焊接在鐘罩本體上。我們根據技術圖（CAD/STEP）進行加工，以確保與您的真空系統精準對接。