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石英鐘罩製造商 | 高純度石英真空鐘罩

適用於半導體、光伏和高溫研究的高級熔融石英真空腔和定製石英耗材

專為超高真空和極端溫度環境而設計

作為一家領先的公司 石英鐘罩製造商東南石英公司專門從事工程設計 高純度石英真空鐘罩 專為滿足先進工業熱加工的嚴苛要求而設計。熔融石英因其卓越的純度、極低的膨脹係數和出色的光學透明度,成為高要求真空製程的首選材料。我們的石英鐘罩可提供純淨無污染的環境,這對於半導體加工、光伏電池製造和精密實驗室研究至關重要。

我們的製造能力涵蓋多種結構規格,包括圓頂式、平頂式和客製化法蘭式鐘罩。這些鐘罩經過精心設計,可在高真空壓力和高達 100°C 的工作溫度下保持結構完整性。 最高可達1200°C我們的產品確保工藝可重複性和持久耐用性。

高純度石英真空鐘罩製造

技術優勢與材料優勢

我們的高純度石英真空鐘罩在嚴格的品質控制下加工,以確保其在關鍵真空和高溫系統中的性能。

超高純度(>99.99%)

採用優質熔融石英原料製造,最大限度地減少微量金屬雜質,防止對敏感半導體晶片和光電應用造成污染。

熱衝擊阻力

極低的熱膨脹係數使得我們的石英鐘罩能夠承受快速的加熱和冷卻循環,而不會開裂或結構損壞。

氣密真空密封

精密研磨的法蘭和氦氣洩漏測試確保低壓化學氣相沉積 (LPCVD) 和真空鍍膜系統的完美密封。

特色高純度石英產品

探索我們專為高性能工業流程設計的優質石英耗材系列。

具有優異熱穩定性的石英鐘罩

具有優異熱穩定性的石英鐘罩

專為真空沉積、半導體加工和高溫爐應用而設計。

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用於高溫應用的大型熔融石英管

用於高溫應用的大型熔融石英管

非常適合重型工業加工、太陽能光伏擴散和大直徑熱室。

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實驗室及工業用客製尺寸石英爐管

實驗室及工業用客製尺寸石英爐管

尺寸根據實際情況定制,公差精確,適用於水平和垂直管式爐。

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用於高溫製程的高級石英舟

用於高溫製程的高級石英舟

專為化學氣相沉積和擴散爐設計的高負載能力晶圓載體。

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熔石英板 – 耐熱

熔石英板 – 耐熱

精密拋光或研磨的石英窗和基板,具有優異的光學清晰度和熱穩定性。

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客製化石英產品

客製化石英玻璃儀器及組件

定製石英製品,包括反應容器、歧管和複雜的定製石英結構。

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關於東南石英

連雲港東南石英製品有限公司

連雲港東南石英製品有限公司成立於2015年,位於江蘇省連雲港市東海縣-中國矽材料產業的重鎮。依賴當地豐富的優質石英礦資源,公司已發展成為集研發、客製化設計、精密生產和全球進出口貿易於一體的專業製造商。

我們擁有先進的生產設施,包括標準化的生產車間、先進的石英加工設備和專業的研發團隊。我們掌控著從原料純化到最終精密製造的整個生產週期。這使我們能夠提供種類齊全的高性能石英產品:從高純度熔融石英管、爐管和石英舟,到堅固耐用的石英鐘罩、燈座、坩堝以及各種專用實驗室玻璃儀器。

2015
已確立的
1200℃
最高耐溫性
99.99%
二氧化矽純度
100%
可自訂規格

深度解析:熔融石英在真空應用的應用

了解為什麼高純度石英真空鐘罩在現代薄膜沉積和半導體製造系統中是不可替代的。

真空完整性和氣體逸出預防

在物理氣相沉積 (PVD) 或化學氣相沉積 (CVD) 等熱製程中,保持真空腔的潔淨至關重要。普通的玻璃或金屬腔在真空條件下會釋放揮發性雜質,這種現象稱為放氣。熔融石英具有極為緊密的分子結構和高純度,在高溫下幾乎不會放氣。這確保了石英鐘罩內的氣體完全不受污染,從而保護精密的晶片結構免受缺陷的影響。

高熱負荷和機械強度

石英鐘罩必須能夠承受真空環境的外部大氣壓力以及內部加熱元件或等離子體源產生的高溫。我們的製造流程確保壁厚均勻並進行應力消除退火處理,賦予真空鐘罩在高溫梯度下運行時所需的機械強度,使其能夠抵抗內爆。這些容器的最高連續工作溫度可達 1100°C,短期耐受溫度可達 1200°C,在極端高溫環境下表現優異。

典型工業應用

半導體加工

用作矽晶片退火、氧化物生長和蝕刻製程的反應室,在這些製程中,化學純度至關重要。

太陽能和光伏發電(PV)

高效能太陽能電池擴散和塗覆階段的保護性真空外殼。

實驗室研究

可在真空條件下進行受控氣氛燒結、氣相反應及材料純化實驗。

最先進的製造和加工

從原料選擇到精密火焰加工和最終品質檢驗,看看我們的生產團隊是如何運作的。

產品加工展示

工廠展示

全球石英卓越

我們秉持著「品質第一、客戶至上、創新驅動、誠信經營」的核心理念,並維持強大的服務體系。

01

至尊客戶

我們始終將客戶需求放在首位。我們的工程支援團隊將全程協助您,從最初的CAD設計到材料選擇,確保最終的石英鐘罩完美契合您的系統需求。

02

品質管制

所有石英真空鐘罩在出貨前都要經過嚴格的品質檢查,包括尺寸公差驗證、氦質譜洩漏檢測和高溫應力測試。

03

客製化服務

我們提供靈活的客製化選項,包括壁厚、法蘭輪廓、氣體進/出口和磨合接頭,以配合您專有的真空室設定。

品質 • 服務 • 全球佈局

憑藉可靠的產品品質、高效的生產週期和完善的售後支持,東南石英已在全球建立了強大的影響力。我們的產品不僅服務中國國內的工廠,也出口到歐洲、北美、東南亞和中東等地的客戶。

我們與全球研究機構、半導體OEM廠商和太陽能電池製造商緊密合作,提供高純度石英解決方案,以優化製程性能並減少營運停機時間。

創新與研究

展望未來,我們將持續致力於石英加工技術的創新。透過投資先進的數控加工、精密自動化焊接和更乾淨的純化技術,我們將繼續滿足高科技製造和科學研究不斷變化的需求。

認證品質與業界標準

我們的產品均按照半導體和實驗室環境的國際標準進行製造和測試。

品質證書

ISO品質體系

REACH 證書

符合REACH法規

ROSH認證

符合RoHS標準

SGS證書

SGS認證

測試報告

材料測試報告

我們的設施和加工能力

請仔細參觀我們的加工車間、原料倉庫和成品加工區。

需要高純度石英真空鐘罩嗎?

無論您需要客製化尺寸、客製化研磨接頭還是獨特的法蘭樣式,我們的工程團隊都隨時準備為您提供協助。請立即聯絡我們,並提供您的設計參數和熱性能規格。

聯絡我們的工程師 客製化流程

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