不規則形狀石英片

蝕刻或PECVD腔體上的石英光學窗口，其背面設有氮氣吹掃通道。此氣幕可防止製程副產物沉積在石英的透光錶面上。在工業術語中，它被稱為通風窗口或吹掃窗口。

- 材質：高純度熔融石英（有些使用藍寶石），通常為不規則形狀的多邊形/八邊形，邊緣磨砂，雙面拋光；

- 安裝在等離子體腔的側壁/頂部，用於終點檢測光譜採集和紅外線測溫；

在此過程中，通風管道表面可能會沉積矽基聚合物和氟化物，降低透光率並觸發設備警報。需要將其清除、清潔和再生——這就是通風管道清潔。

蝕刻過程中會產生大量的聚合物副產物，其中一些會沉積在石英通風口的內表面上：

① 厚沉積物會衰減紫外光光譜訊號，導致蝕刻終點偵測不準確，直接造成晶圓報廢；

② 顆粒脫落並落到晶圓表面，造成良率缺陷；

③ 在生產線 PM 維護期間，將通風口拆下並送去再生和清洗，以去除沉積層，恢復透光性，並允許重複使用，從而降低備件採購成本。