石英爐管
超大石英管
石英船
石英板
石英燈座
石英棒
石英戒指
客製化石英產品
等離子熔融石英錠
不規則形狀石英片
石英晶體歌唱金字塔
公司簡介
東南石英
連雲港東南石英製品有限公司公司成立於2015年，戰略地點優越，坐落於江蘇省連雲港市東海縣－全球公認的矽材料產業基地。作為高純度石英工程領域的先驅，我們集先進研發、客製化工程、精密製造和全面的進出口服務於一體。
憑藉東海縣豐富的優質石英礦石儲量，我們專注於高純度石英玻璃的深層加工。如今，我們已成為關鍵石英耗材的核心供應商。 半導體製造、光伏太陽能電池生產、實驗室研究、化學加工和特殊照明 我們成熟的製造技術、極其嚴格的品質控制系統和靈活的客製化服務，確保您的生產流程不間斷運作。
高純度工藝組件及工程
半導體製造需要超潔淨的環境以及能夠承受極端熱應力和化學應力的元件。我們高純度熔融石英產品旨在為嚴苛的熱處理和等離子處理步驟提供卓越的性能。
極耐高溫性能
我們的產品採用優質熔融石英製造，使其能夠承受高達以下溫度的連續工作溫度： 1200°C可短期暴露於高達 1450°C 的溫度下。非常適合擴散和 LPCVD 製程。
熱衝擊穩定性
我們的石英鐘罩和爐管具有極低的熱膨脹係數，能夠抵抗快速的溫度波動，最大限度地減少熱應力斷裂。
腐蝕與化學惰性
具有優異的耐化學腐蝕性，可抵抗酸、鹵素和有機溶劑的侵蝕。熔融石英在腐蝕性化學環境下仍保持高度穩定性，防止批次污染。
特色半導體石英產品
探索我們種類齊全的高純度石英耗材，這些耗材經過精心設計，可滿足現代晶圓製造工藝的嚴格公差要求。
具有優異熱穩定性的石英鐘罩
專為高真空、高溫沉積和蝕刻製程而設計，提供安全、無污染的處理腔室。
等離子熔融石英錠
採用等離子熔融製程加工的優質原料塊，確保超低氣泡含量及極高的均勻性。
用於高溫應用的大型熔融石英管
專為立式爐工藝設計的大直徑石英管，具有均勻的壁厚和耐熱性。
定制尺寸石英爐管
按照實驗室或工業爐的精確規格量身定制，具有精密研磨的接頭和氣體進/出口。
用於高溫製程的高級石英舟
精密開槽石英舟，設計用於在高溫擴散和氧化過程中牢固地固定矽晶片。
熔石英板 – 耐熱
專為光學窗口、半導體基板和隔熱罩設計的高透射率石英板。
高純度石英棒/熔融石英棒
耐用、高純度棒材，非常適合用於結構支撐、纖維預成型件和客製化半導體爐內部組件。
訂製透明石英玻璃戒指
專為承受強等離子體蝕刻和 CVD 熱梯度而設計的高溫絕緣環。
客製化石英儀器和實驗室用品
根據您的 CAD 藍圖，量身訂製石英燒杯、燒瓶和複雜的多酸純化系統。
為什麼半導體製程需要熔融石英鐘罩
在晶圓製造過程中，化學氣相沉積 (CVD)、外延生長和等離子體蝕刻等製程均在極端環境下進行。腔室材料的選擇直接影響晶圓良率和裝置性能。 高純度熔融石英鐘罩 作為主要容器，保護晶圓免受外部污染物侵害，同時保持穩定的真空環境。
我們的石英鐘罩採用產自東海縣的高純度天然矽砂製造。原料經過嚴格的篩選和化學提純，將總金屬雜質含量降低至10 ppm以下。這種極低的微量金屬污染（例如鈉、鉀、鐵和銅）對於防止矽片中可移動離子污染至關重要，因為這種污染會導致裝置失效。
熔融石英性能比較
| 財產 | 熔融石英（東南石英） | 標準硼矽酸鹽玻璃 | 氧化鋁陶瓷（Al2O3） |
|---|---|---|---|
| 二氧化矽純度 | > 99.99% | 約81% | 不適用（氧化鋁） |
| 最高工作溫度 | 最高可達1200℃ | 約500℃ | 最高可達1600℃ |
| 熱膨脹係數 | 5.5 x 10-7 / ℃（極低） | 33 x 10-7 / ℃ | 80 x 10-7 / ℃ |
| 化學抗性 | 極佳（高溫下HF和H3PO4除外） | 緩和 | 好的 |
| 熱衝擊阻力 | 極佳（可從1000℃淬入水中） | 貧窮的 | 緩和 |
客製化加工能力
每條半導體製造生產線都有其獨特的設備配置。連雲港東南石英製品有限公司提供全面的客製化工程服務。我們可以生產各種客製化高度、直徑、法蘭輪廓、氣體入口噴嘴和光學窗口的石英鐘罩。我們採用先進的數控磨床和經驗豐富的技術人員手工吹製玻璃工藝，可實現±0.1mm以內的尺寸公差。
最先進的加工和製造
帶您參觀我們先進的石英石生產工廠。從原料切割到手工和自動化玻璃精煉，我們確保每件產品都符合全球標準。
產品加工展示
工廠車間及設備
全球石英卓越
品質是我們業務的基石。我們多層次的品質控制系統確保了所有石英元件均無缺陷，可直接用於無塵室部署。
至尊客戶
我們秉承「品質第一、客戶至上、創新驅動、誠信經營」的核心理念，優先考慮我們所服務的每個晶圓廠和研究機構的獨特規格。
品質管制
所有產品在出廠前均經過氦質譜洩漏檢測、耐壓測試和純度測試等多項測試，以確保性能穩定、無雜質、零洩漏。
客製化服務
我們提供靈活的客製化服務，可根據特定設備參數調整產品尺寸、法蘭類型和連接埠配置。我們的工程團隊能夠快速回應複雜的小批量訂單。
生產設施和倉庫
證書顯示
我們的生產流程已通過認證，符合品質管理、環境安全和材料純度的國際標準。
技術常見問題：半導體石英鐘罩
取得高純度加工環境中石英鐘罩的應用、維護和規格的常見技術問題的答案。
Q1：為什麼在半導體製造中熔融石英比標準玻璃更受歡迎？
熔融石英由幾乎純淨的二氧化矽（SiO₂ > 99.99%）組成。與硼矽酸鹽玻璃不同，它幾乎不含硼、鈉或鈣等金屬雜質。在高溫半導體加工過程中，普通玻璃會熔化並釋放雜質，從而破壞矽片的電氣特性。熔融石英在高達 1200°C 的溫度下仍能保持結構完整性，並提供超潔淨的環境。
Q2：如何確保石英鐘罩的真空完整性？
我們所有的石英鐘罩都經過嚴格的測試。 氦質譜洩漏檢測熔融石英對大多數氣體不滲透，但微裂紋或焊接缺陷會導致真空洩漏。我們透過引入加壓氦氣並使用高靈敏度探測器，驗證每個鐘罩是否保持密封，從而確保在高真空範圍內都能維持穩定的真空環境。
Q3：你們的石英產品可以客製化以適合現有的OEM工具嗎？
是的。我們專精於客製化加工。我們可以為各大OEM廠商的工具製造石英鐘罩、爐管和船形容器。客戶只需提供技術圖、CAD文件或實體樣品即可。我們可根據您的特定硬體配置客製化法蘭、氣體入口、排氣口和熱電偶套管。
Q4：晶圓製造廠中應該如何清潔和維護石英鐘罩？
石英元件應使用稀氫氟酸 (HF) 或氫氟酸與硝酸 (HNO3) 的混合溶液進行清洗，以去除製程沉積物和金屬污染物。酸洗後，必須用去離子水徹底沖洗，並在潔淨無塵的環境中乾燥。操作時必須配戴無塵室手套，以防止指紋污染，因為指紋污染在高溫下會導致石英元件玻璃化轉變。