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半導體級熔融石英工程

半導體石英棒供應商 | 高純度熔融石英元件

全球領先的精密加工熔融石英棒、超大石英管、晶圓加工舟和用於先進半導體製造的高溫真空設備製造商。

99.999%
超高純度二氧化矽 (SiO2)
1200°C以上
連續熱阻
±0.01毫米
精密加工公差
50歲以上
全球出口國家和地區
全球石英卓越

公司簡介及核心製造實力

為半導體、光伏和高精度科學研究領域提供優質熔融石英解決方案。

東南石英公司簡介

連雲港東南石英製品有限公司 東南石英有限公司成立於2015年,坐落於江蘇省連雲港市東海縣-世界知名的矽材料產業基地。作為一家集研發、精密結構設計、大規模生產、技術諮詢和國際進出口貿易於一體的綜合性高科技製造商,公司充分利用東海縣豐富的石英礦資源,致力於提供世界一流的熔融石英玻璃解決方案。

透過深入參與石英玻璃熱加工、冷加工、等離子體熔融和化學提純,東南石英已成為半導體擴散、化學氣相沉積 (CVD)、晶圓蝕刻、光伏電池燒結、高溫實驗室和化學分析儀器的耗材組件不可或缺的核心供應商。

我們標準化的生產基地配備了自動化數控石英加工中心、等離子熔煉炬、雷射切割機和經認證的無塵室退火爐。從高純度砂粒純化到微米級精度的石英元件,我們擁有完整的產業鏈,確保產品具有一致的高溫穩定性(最高可達 1200℃ 連續工作溫度和 1450℃ 軟化閾值),優異的耐熱衝擊性,接近零的熱膨脹係數,從深紫外線到近紅外線的卓越光學透射率,以及在嚴苛的射頻/等離子體環境下優異的電絕緣性。

工程品質

為什麼選擇我們的高純度熔融石英棒材及組件

專為承受微電子製造中強烈的腐蝕性氣體、熱應力和超潔淨真空環境而設計。

01

客戶至上與客製化

秉持著「品質第一、客戶至上、創新驅動、誠信經營」的指導理念,我們的技術工程師與半導體設備OEM廠商和晶圓廠經理直接合作。我們生產客製化的石英棒、各種規格的型材、專用法蘭、精密溝槽以及多層舟形結構,完美搭配您的工藝腔室。

02

嚴格的品質和缺陷控制

每根石英棒、爐管和鐘罩在出貨前都經過全面的分析檢驗。我們的多階段驗證包括氦質譜洩漏檢測、靜水壓力耐受性驗證、氣泡和包裹體顯微分析以及光譜儀純度測試,以確保產品無污染、零洩漏且具有超高純度,並擁有超長的使用壽命。

03

先進的等離子體和熱處理

利用最先進的等離子熔融炬和連續電爐拉拔線,我們的石英棒具有極低的 OH 含量(

物理和化學參數 標準熔融石英 半導體超純二氧化矽 在半導體製造廠的應用意義
二氧化矽純度水平 ≥ 99.99% ≥ 99.999%(5N 級) 消除高溫晶圓擴散過程中的重金屬污染。
連續工作溫度 1100℃ 1200 °C(短期:1450 °C) 保持LPCVD和氧化爐內部的結構完整性。
熱膨脹係數 5.5 × 10⁻⁷ / °C 5.4 × 10⁻⁷ / °C (20°C - 320°C) 具有抗熱衝擊能力;能夠承受極端的熱循環而不發生斷裂。
羥基(OH)含量 最大限度減少結構脫玻化,並保持較高的紅外線透射率。
介電強度(20°C) 25-40 kV/mm > 40 kV/mm 射頻等離子體隔離器、電極夾具和蝕刻腔不可少。
精準投資組合

特色半導體石英和熔融石英產品

探索我們全面的石英棒、爐管、晶片舟和專為嚴苛工業環境設計的客製化高純度組件產品線。

用於半導體和實驗室的高純度石英棒/熔融石英棒

高純度石英棒/熔融石英棒

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等離子熔融石英錠簡介

等離子熔融石英錠

看錠塊詳情 →
用於高溫應用的大型熔融石英管

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定制尺寸石英爐管

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用於高溫製程的高級石英舟

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實驗室用高純度石英消解管

高純度石英消化管

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客製化石英產品

客製化石英儀器和容器

客製化工程 →

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探索所有石英棒、石英管、石英板、石英坩堝和三酸純化設備。

所有產品概覽
半導體和光伏部署

高純度熔融石英元件的關鍵應用

專為高應力晶圓處理、腐蝕性酸蒸氣處理和極端熱梯度環境而設計。

半導體製造與外延

在半導體前端和後端生產線中,高純度石英棒可用作結構推拉桿、晶圓盒、熱電偶保護套和光學導桿。在熱氧化、快速熱處理 (RTP) 和低壓化學氣相沉積 (CVD) 反應器中,我們的熔融石英組件可防止金屬遷移,並確保亞微米晶圓批次的高良率。

光伏及太陽能錠燒結

在高效 TOPCon、HJT 和鈣鈦礦太陽能電池製造中,石英舟和爐管能夠承受 1000°C–1200°C 的長時間高溫磷/硼擴散,而不會下垂或脫玻化,從而最大限度地提高晶圓批次產量。

超純化學品和三酸提純

石英玻璃器皿、蒸餾器、冷凝器和三酸純化設備可消除電子級氫氟酸、硝酸和鹽酸精製過程中產生的微量浸出物。高純度二氧化矽的化學惰性可防止元素浸出到分析試劑中。

製造與工藝

產品加工及熱加工車間

親眼見證石英玻璃的精密冷磨、火焰焊接、車削和自動精密拋光工藝。

產品加工展示

探索完整的製造工作流程
先進生產基地

工廠圖片及設施基礎設施

位於東海縣的標準化車間、認證退火生產線和最先進的測試站。

工廠展示

工廠圖片

全球合規

證書展示與品質認證

符合國際品質、環境安全、RoHS 和 REACH 標準認證,可直接全球出貨。

品質證書
ISO品質標準
REACH 證書
REACH認證
ROSH認證
符合RoHS標準
SGS證書
SGS檢驗
測試報告
認證測試報告
查看詳細證書 →
全球足跡

深受全球客戶信賴

為歐洲、美洲、亞太地區和中東地區提供可靠的熔融石英解決方案。

品質 • 服務 • 全球佈局

憑藉可靠的產品品質、快速的交貨能力和周到的技術售後服務,該產品 連雲港東南石英製品有限公司(東南石英) 不僅涵蓋中國所有省市,也廣泛出口到北美、德國、日本、韓國、新加坡、馬來西亞和中東等高科技製造中心,贏得了業界的最高信任度。

持續創新與材料研究

展望未來,東南石英將持續加強對高純度合成熔融石英、等離子精煉石英錠及微加工技術的研發投入。我們致力於為世界一流的半導體製造廠、分析實驗室和精密光學製造商提供優質石英元件,以推動科學技術進步。

東南石英國際貿易與客戶溝通
東南石英廠概況

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請將您的工程圖、化學純度要求或工作溫度曲線寄給我們。我們的工程師將在 24 小時內提供客製化報價和 DFM 回饋。