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定制石英钟罩供应商 | 精密石英真空组件

用于半导体、光伏和超高真空 (UHV) 环境的高纯度熔融石英工程

东南石英制造厂

公司简介

东南石英

成立于2015年, 连云港东南石英制品有限公司 公司位于江苏省连云港市东海县,这里是全球公认的硅材料产业基地。作为一家集研发、定制设计、生产、国内销售和国际进出口贸易于一体的先进制造商,我们充分利用该地区丰富的优质高纯度石英矿资源。

东南石英专注于石英玻璃的精密深加工,已发展成为高性能石英耗材的核心供应商。我们自豪地为众多要求严苛的全球行业提供服务,包括: 半导体晶圆制造、光伏太阳能电池、实验室研究、化学工程和高强度照明

精密石英真空组件

专为承受高真空系统中的极端热、化学和物理环境而设计。

高纯度原材料

我们只采购高纯度熔融石英,确保金属杂质含量极低(SiO2 ≥ 99.99%)。这保证了敏感的半导体薄膜沉积和热处理工艺中不会产生任何污染。

热稳定性和真空稳定性

由于热膨胀系数极低,我们定制的石英钟罩和真空室在高达 1200°C 的热冲击和深真空配置下仍能保持结构完整性。

灵活定制

我们提供从原材料加工到复杂定制加工的全流程制造服务。我们能够精确匹配您的系统规格、法兰轮廓和端口配置。

≥99.99% 二氧化硅纯度
1200℃ 最高工作温度
100% 氦气泄漏测试
50岁以上 全球出口区域

精密工程石英产品

浏览我们精选的耐高温、高纯度石英耗材,这些耗材专为工业和实验室系统而设计。

具有优异热稳定性的石英钟罩

石英钟罩

专为真空镀膜、等离子刻蚀和化学气相沉积工艺而设计。具有出色的耐热冲击性和光学透明度。

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用于高温应用的大型熔融石英管

超大熔融石英管

非常适合大直径立式炉、光伏扩散室和重型工业加热应用。

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定制尺寸石英炉管

石英炉管

专为实验室和工业管式炉设计。具有优异的化学纯度和尺寸一致性。

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用于高温工艺的高级石英舟

高级石英船

用于半导体晶圆和太阳能电池的精密开槽载体。设计用于抵抗高温下的变形。

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熔融石英板 – 耐热

熔融石英板

高透光率光学窗口和隔热板。耐腐蚀,耐高温。

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高纯度石英棒/熔融石英棒

高纯度石英棒

用于结构支撑、光纤拉丝和半导体加工应用的实心熔融石英棒。

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等离子熔融石英锭简介

等离子熔融石英锭

用于制造定制光学透镜、棱镜和半导体零件的高密度、无气泡原材料锭。

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工业用耐热石英灯座

石英灯座

工业烤箱中用于高功率紫外线、红外线和卤素加热灯的专用耐热支架。

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查看所有定制乐器

为什么定制石英钟罩在真空环境中至关重要

在高真空和超高真空 (UHV) 工艺中,腔室材料必须具备近乎零的放气率、极高的结构完整性和卓越的抗化学腐蚀性能。熔融石英是这些环境的理想材料。

我们的 定制石英钟罩 这些高纯度工艺腔室用于进行化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD) 和等离子刻蚀等工艺。由于这些工艺需要在高温下进行并涉及活性气体,因此普通玻璃或金属会因热裂纹或化学污染而失效。

  • 热阻: 连续运行温度最高可达 1100°C,短期暴露温度最高可达 1200°C。
  • 化学惰性: 不受大多数​​酸(氢氟酸除外)的影响,确保工艺纯度。
  • 真空完整性: 每个钟形罩都要经过严格的氦质谱泄漏测试。
  • 高透射率: 可实现对内部过程的无缝视觉检查和光学监控。
请求定制设计支持
精密石英真空室正在接受检查

先进的石英加工与制造

亲眼见证我们最先进的加工技术,包括热加工、机械研磨、火焰抛光和焊接。

了解我们的制造能力

全球石英卓越

我们的运营理念建立在三大核心支柱之上:质量第一、技术创新和客户成功。

01

至尊客户

秉承“质量第一、客户至上、创新驱动、诚信经营”的理念,我们构建了以客户为中心的服务模式。我们将工程团队与您的研发团队紧密合作,共同设计优化的石英解决方案。

02

质量控制

所有成品在出厂前均需经过多项严格测试,包括氦气质谱泄漏检测(用于检验真空完整性)、高温高压测试和化学纯度验证,以确保零缺陷。

03

定制服务

我们深知每个系统都不尽相同。因此,我们提供灵活的定制服务,可调整尺寸、法兰类型、壁厚和气体入口配置,以满足您特定的设备参数和工艺要求。

我们的生产设施和设备

东南石英公司内部参观:标准化洁净室、现代化数控加工设备和自动化石英吹制设备。

服务行业及应用

我们生产的高纯度石英耗材符合全球高科技行业的高标准。

半导体制造

适用于化学气相沉积 (CVD)、扩散和氧化反应室。我们定制的钟罩、晶圆舟和气体入口管可确保晶圆加工环境洁净无污染。

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太阳能和光伏(PV)

在硅锭生长和晶片扩散工艺中至关重要。我们超大尺寸的石英管和耐高温石英舟能够承受太阳能电池制造过程中连续的热循环。

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实验室与研究

适用于化学分析、蒸馏和高温反应。我们的烧杯、烧瓶和消解管具有化学惰性和极佳的耐热冲击性。

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东南石英质量控制检验团队

品质 • 服务 • 全球布局

凭借可靠的产品质量、高效的交付和周到的售后服务,连云港东南石英制品有限公司已在全球范围内建立了强大的影响力。我们的产品覆盖中国所有主要省市,并出口到欧洲、北美、东南亚和中东地区。

未来,我们将继续加大技术创新投入,不断提升原材料提纯和高精度数控加工能力。我们致力于为全球客户提供最高品质的石英产品解决方案,为高端制造和科学研究提供支持。

质量与合规认证

我们的工厂严格按照国际质量标准运营,以确保我们的产品符合严格的监管规定。

ISO 9001质量认证

质量证书

REACH合规证书

REACH 证书

ROHS环境认证

ROHS认证

SGS检测认证

SGS证书

石英材料测试报告

测试报告

常见问题解答及技术规格

关于定制石英钟罩和真空元件工程的技术见解。

Q1:你们生产石英钟罩时使用哪些等级的原材料?

我们使用二氧化硅含量超过 99.99% 的高纯度熔融石英。这种等级的石英具有极低的羟基 (OH) 含量和可忽略不计的痕量金属浓度(铁、铝、钙、镁、钛),使其成为半导体和高真空加工的理想材料,而不会造成污染风险。

Q2:你们的石英腔体的最高耐热极限是多少?

我们的石英元件可在高达 1100°C 的温度下连续运行。对于短期工艺,它们可以承受高达 1200°C 的热峰值。熔融石英还具有极低的膨胀系数,可防止在快速热循环过程中开裂。

Q3:如何验证真空和无泄漏性能?

所有定制的石英真空钟罩均经过严格的氦质谱泄漏检测。该测试可识别微裂纹或焊接气孔,确保腔室维持薄膜沉积和等离子体处理所需的压力水平。

Q4:你们可以定制石英法兰和端口吗?

是的,我们专精于定制加工。我们可以将定制的接地法兰、KF/ISO法兰、气体入口和传感器接口直接焊接在钟罩本体上。我们根据技术图纸(CAD/STEP)进行加工,以确保与您的真空系统精准对接。

需要定制石英真空组件?

立即联系我们的工程团队,审核您的图纸,讨论材料规格,或快速获取定制石英钟罩的报价。