定制石英船制造商

公司简介

东南石英

连云港东南石英制品有限公司成立于2015年，位于江苏省连云港市东海县——国家硅材料产业基地。公司是一家集研发、设计、生产、销售及进出口贸易于一体的专业制造商，依托东海县优质的石英矿资源，深入从事石英玻璃的深加工，凭借成熟的生产技术、严格的质量控制体系和完善的定制服务，已成为光伏、半导体、实验室、化工、照明等行业石英耗材的核心供应商。

公司拥有标准化的生产车间、先进的石英加工设备和专业的研发团队，具备从石英原料加工到成品制造的全流程生产能力。所有产品均采用高纯度熔融石英原料，具有优异的耐高温（最高可达1200℃）、抗热震、耐腐蚀、高透光率和良好的电绝缘性能，能够满足真空环境、高温烧结、气氛控制和精密实验等严苛的工作条件。

应用及全球布局

品质 • 服务 • 全球布局

凭借可靠的产品质量、高效的交付能力和周到的售后服务，连云港东南石英制品有限公司的产品不仅覆盖了中国所有省市，还出口到欧洲、美洲、东南亚、中东等许多国家和地区，赢得了国内外客户的广泛认可和信赖。

我们定制的石英舟和石英管是硅片生产热处理步骤中的关键部件。在扩散炉、氧化炉和退火炉中，石英玻璃是唯一一种既能保证无金属污染又能保持严格结构稳定性的材料。

未来，公司将继续深耕石英产品领域，不断提升技术创新和生产技术水平，努力为全球客户提供更高质量、更专业的石英产品解决方案，为高端制造和科研领域的高质量发展做出贡献。

为什么熔融石英对晶圆载体至关重要

熔融石英的分子结构几乎完全由二氧化硅 (SiO2) 组成。这种高纯度确保了当晶片进行扩散或化学气相沉积 (CVD) 等高温工艺时，载体中的重金属或硼/磷不会扩散到硅晶片中。

此外，熔融石英的热膨胀系数（CTE）极低（约为 5.5 x 10^-7 / °C这样可以确保石英舟即使在经历从室温到 1000°C 以上的快速热转变时也不会变形、弯曲或开裂。

石英船的关键设计方面

1. 槽几何形状： 石英舟上狭缝的宽度、深度和角度必须非常精确。如果狭缝过紧，晶圆可能会因热膨胀系数不同而碎裂或粘连。如果狭缝过松，晶圆可能会倾斜，导致沉积过程中气体暴露不均匀。

2. 结构完整性： 标准配置包括壳式舟、梯形舟和笼式舟。具体选择取决于炉子的气体流动设计。水平扩散系统通常使用梯形石英舟，而低压化学气相沉积（LPCVD）工艺通常需要笼式或开槽管式舟来控制气体分布。