不规则形状石英片

蚀刻或PECVD腔体上的石英光学窗口，其背面设有氮气吹扫通道。该气幕可防止工艺副产物沉积在石英的透光表面上。在工业术语中，它被称为通风窗口或吹扫窗口。

- 材质：高纯度熔融石英（有些使用蓝宝石），通常为不规则形状的多边形/八边形，边缘磨砂，双面抛光；

- 安装在等离子体腔的侧壁/顶部，用于终点检测光谱采集和红外测温；

在此过程中，通风管道表面可能会沉积硅基聚合物和氟化物，降低透光率并触发设备警报。需要将其清除、清洁和再生——这就是通风管道清洁。

蚀刻过程中会产生大量的聚合物副产物，其中一些会沉积在石英通风口的内表面上：

① 厚沉积物会衰减紫外光谱信号，导致蚀刻终点检测不准确，直接造成晶圆报废；

② 颗粒脱落并落到晶圆表面，造成良率缺陷；

③ 在生产线 PM 维护期间，将通风口拆下并送去再生和清洗，以去除沉积层，恢复透光性，并允许重复使用，从而降低备件采购成本。