石英炉管
超大石英管
石英船
石英板
石英灯座
石英棒
石英戒指
定制石英产品
等离子熔融石英锭
不规则形状石英片
石英晶体歌唱金字塔
公司简介
东南石英
连云港东南石英制品有限公司公司成立于2015年，战略位置优越，坐落于江苏省连云港市东海县——全球公认的硅材料产业基地。作为高纯石英工程领域的先行者，我们集先进研发、定制工程、精密制造和全面的进出口服务于一体。
凭借东海县丰富的优质石英矿石储量，我们专注于高纯度石英玻璃的深加工。如今，我们已成为关键石英耗材的核心供应商。 半导体制造、光伏太阳能电池生产、实验室研究、化学加工和特种照明 我们成熟的制造技术、极其严格的质量控制体系和灵活的定制服务，确保您的生产流程不间断运行。
高纯度工艺组件及工程
半导体制造需要超洁净的环境以及能够承受极端热应力和化学应力的元件。我们高纯度熔融石英产品旨在为严苛的热处理和等离子处理步骤提供卓越的性能。
极耐高温性能
我们的产品采用优质熔融石英制造，使其能够承受高达以下温度的连续工作温度： 1200°C可短期暴露于高达 1450°C 的温度下。非常适合扩散和 LPCVD 工艺。
热冲击稳定性
我们的石英钟罩和炉管具有极低的热膨胀系数，能够抵抗快速的温度波动，最大限度地减少热应力断裂。
腐蚀与化学惰性
具有优异的耐化学腐蚀性，可抵抗酸、卤素和有机溶剂的侵蚀。熔融石英在腐蚀性化学环境下仍保持高度稳定性，防止批次污染。
特色半导体石英产品
探索我们种类齐全的高纯度石英耗材，这些耗材经过精心设计，可满足现代晶圆制造工艺的严格公差要求。
具有优异热稳定性的石英钟罩
专为高真空、高温沉积和蚀刻工艺而设计，提供安全、无污染的处理腔室。
等离子熔融石英锭
采用等离子熔融工艺加工的优质原材料块，保证超低气泡含量和极高的均匀性。
用于高温应用的大型熔融石英管
专为立式炉工艺设计的大直径石英管，具有均匀的壁厚和耐热性。
定制尺寸石英炉管
按照实验室或工业炉的精确规格量身定制，具有精密研磨的接头和气体进/出口。
用于高温工艺的高级石英舟
精密开槽石英舟，设计用于在高温扩散和氧化过程中牢固地固定硅晶片。
熔融石英板 – 耐热
专为光学窗口、半导体基板和隔热罩设计的高透射率石英板。
高纯度石英棒/熔融石英棒
耐用、高纯度棒材，非常适合用于结构支撑、纤维预成型件和定制半导体炉内部组件。
定制透明石英玻璃戒指
专为承受强等离子体刻蚀和 CVD 热梯度而设计的高温绝缘环。
定制石英仪器和实验室用品
根据您的 CAD 蓝图，量身定制石英烧杯、烧瓶和复杂的多酸纯化系统。
为什么半导体工艺需要熔融石英钟罩
在晶圆制造过程中，化学气相沉积 (CVD)、外延生长和等离子体刻蚀等工艺均在极端环境下进行。腔室材料的选择直接影响晶圆良率和器件性能。 高纯度熔融石英钟罩 作为主要容器，保护晶圆免受外部污染物侵害，同时保持稳定的真空环境。
我们的石英钟罩采用产自东海县的高纯度天然硅砂制造。原材料经过严格的筛选和化学提纯，将总金属杂质含量降低至10 ppm以下。这种极低的痕量金属污染（例如钠、钾、铁和铜）对于防止硅片中出现可移动离子污染至关重要，因为这种污染会导致器件失效。
熔融石英性能比较
| 财产 | 熔融石英（东南石英） | 标准硼硅酸盐玻璃 | 氧化铝陶瓷（Al2O3） |
|---|---|---|---|
| 二氧化硅纯度 | > 99.99% | 约81% | 不适用（氧化铝） |
| 最高工作温度 | 最高可达1200℃ | 约500℃ | 最高可达1600℃ |
| 热膨胀系数 | 5.5 x 10-7 / ℃（极低） | 33 x 10-7 / ℃ | 80 x 10-7 / ℃ |
| 化学抗性 | 极佳（高温下HF和H3PO4除外） | 缓和 | 好的 |
| 热冲击阻力 | 极佳（可从1000℃淬入水中） | 贫穷的 | 缓和 |
定制加工能力
每条半导体制造生产线都有其独特的设备配置。连云港东南石英制品有限公司提供全面的定制工程服务。我们可以生产各种定制高度、直径、法兰轮廓、气体入口喷嘴和光学窗口的石英钟罩。我们采用先进的数控磨床和经验丰富的技术人员手工吹制玻璃工艺，可实现±0.1mm以内的尺寸公差。
最先进的加工和制造
带您参观我们先进的石英石生产工厂。从原材料切割到手工和自动化玻璃精炼，我们确保每一件产品都符合全球标准。
产品加工展示
工厂车间及设备
全球石英卓越
质量是我们业务的基石。我们多层次的质量控制体系确保了所有石英元件均无缺陷，可直接用于洁净室部署。
至尊客户
我们秉承“质量第一、客户至上、创新驱动、诚信经营”的核心理念，优先考虑我们所服务的每个晶圆厂和研究机构的独特规格。
质量控制
所有产品在出厂前均经过氦质谱泄漏检测、耐压测试和纯度测试等多项测试，以确保性能稳定、无杂质、零泄漏。
定制服务
我们提供灵活的定制服务，可根据具体设备参数调整产品尺寸、法兰类型和端口配置。我们的工程团队能够快速响应复杂的小批量订单。
生产设施和仓库
证书显示
我们的生产流程已通过认证，符合质量管理、环境安全和材料纯度方面的国际标准。
技术常见问题解答：半导体石英钟罩
获取有关高纯度加工环境中石英钟罩的应用、维护和规格的常见技术问题的答案。
Q1：为什么在半导体制造中熔融石英比标准玻璃更受欢迎？
熔融石英由几乎纯净的二氧化硅（SiO₂ > 99.99%）组成。与硼硅酸盐玻璃不同，它几乎不含硼、钠或钙等金属杂质。在高温半导体加工过程中，普通玻璃会熔化并释放杂质，从而破坏硅片的电性能。熔融石英在高达 1200°C 的温度下仍能保持结构完整性，并提供超洁净的环境。
Q2：如何确保石英钟罩的真空完整性？
我们所有的石英钟罩都经过严格的测试。 氦质谱泄漏检测熔融石英对大多数气体不渗透，但微裂纹或焊接缺陷会导致真空泄漏。我们通过引入加压氦气并使用高灵敏度探测器，验证每个钟罩是否保持密封，从而确保在高真空范围内都能维持稳定的真空环境。
Q3：你们的石英产品可以定制以适配现有的OEM工具吗？
是的。我们专精于定制加工。我们可以为各大OEM厂商的工具制造石英钟罩、炉管和船形容器。客户只需提供技术图纸、CAD文件或实物样品即可。我们可根据您的具体硬件配置定制法兰、气体入口、排气口和热电偶套管。
Q4：晶圆制造厂中应该如何清洁和维护石英钟罩？
石英元件应使用稀氢氟酸 (HF) 或氢氟酸与硝酸 (HNO3) 的混合溶液进行清洗，以去除工艺沉积物和金属污染物。酸洗后，必须用去离子水彻底冲洗，并在洁净无尘的环境中干燥。操作时必须佩戴洁净室手套，以防止指纹污染，因为指纹污染在高温下会导致石英元件发生玻璃化转变。