半导体石英棒供应商 | 高纯度熔融石英元件

99.999%

超高纯度二氧化硅 (SiO2)

1200°C以上

连续热阻

±0.01毫米

精密加工公差

50岁以上

全球出口国家和地区

全球石英卓越

公司简介及核心制造实力

为半导体、光伏和高精度科学研究领域提供优质熔融石英解决方案。

连云港东南石英制品有限公司 东南石英有限公司成立于2015年，坐落于江苏省连云港市东海县——世界知名的硅材料产业基地。作为一家集研发、精密结构设计、大规模生产、技术咨询和国际进出口贸易于一体的综合性高科技制造商，公司充分利用东海县丰富的石英矿资源，致力于提供世界一流的熔融石英玻璃解决方案。

通过深入参与石英玻璃热加工、冷加工、等离子体熔融和化学提纯，东南石英已成为半导体扩散、化学气相沉积 (CVD)、晶圆蚀刻、光伏电池烧结、高温实验室和化学分析仪器的耗材组件不可或缺的核心供应商。

我们标准化的生产基地配备了自动化数控石英加工中心、等离子熔炼炬、激光切割机和经认证的洁净室退火炉。从高纯度砂粒提纯到微米级精度的石英元件，我们拥有完整的产业链，确保产品具有始终如一的高温稳定性（最高可达 1200℃ 连续工作温度和 1450℃ 软化阈值），出色的耐热冲击性，接近零的热膨胀系数，从深紫外到近红外的卓越光学透射率，以及在严苛的射频/等离子体环境下优异的电绝缘性。

了解我们查询技术规格

工程质量

为什么选择我们的高纯度熔融石英棒材及组件

专为承受微电子制造中强烈的腐蚀性气体、热应力和超洁净真空环境而设计。

01

客户至上与定制

秉承“质量第一、客户至上、创新驱动、诚信经营”的指导理念，我们的技术工程师与半导体设备OEM厂商和晶圆厂经理直接合作。我们生产定制的石英棒、各种规格的型材、专用法兰、精密沟槽以及多层舟形结构，完美匹配您的工艺腔室。

02

严格的质量和缺陷控制

每根石英棒、炉管和钟罩在发货前都经过全面的分析检验。我们的多阶段验证包括氦质谱泄漏检测、静水压力耐受性验证、气泡和包裹体显微分析以及光谱仪纯度测试，以确保产品无污染、零泄漏且具有超高纯度，并拥有超长的使用寿命。

03

先进的等离子体和热处理

利用最先进的等离子熔融炬和连续电炉拉拔线，我们的石英棒具有极低的 OH 含量（

物理和化学参数	标准熔融石英	半导体超纯二氧化硅	在半导体制造厂中的应用意义
二氧化硅纯度水平	≥ 99.99%	≥ 99.999%（5N 级）	消除高温晶圆扩散过程中的重金属污染。
连续工作温度	1100℃	1200 °C（短期：1450 °C）	保持LPCVD和氧化炉内部的结构完整性。
热膨胀系数	5.5 × 10⁻⁷ / °C	5.4 × 10⁻⁷ / °C (20°C - 320°C)	具有抗热冲击能力；能够承受极端的热循环而不发生断裂。
羟基（OH）含量			最大限度减少结构脱玻化，并保持较高的红外透射率。
介电强度（20°C）	25-40 kV/mm	> 40 kV/mm	射频等离子体隔离器、电极夹具和蚀刻腔必不可少。