用於半導體製程的高溫石英舟 - 中國供應商和工廠,採用高純度二氧化矽製造
產品描述
材質與品質
我們的大直徑石英管採用99.99%高純度熔融石英製成,不含雜質,確保最小的熱膨脹和最大的抗熱衝擊性(可承受-20℃至1200℃的快速溫度變化)。它無毒、無孔,並且耐大多數酸(氫氟酸除外)和鹼性溶液,因此適用於腐蝕性化學加工。
核心優勢- 卓越的熱穩定性:可在1100℃下連續運行,短期使用最高可達1450℃
- 優異的機械強度:高抗壓強度和抗衝擊性,安裝和使用過程中不易開裂
- 客製化支援:可依客戶圖提供定長切割、法蘭端接和鑽孔服務。
- 使用壽命長:即使在長時間高溫暴露下也能抵抗老化和氧化
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半導體產業
它們廣泛應用於晶圓加工的擴散爐、氧化爐和離子注入設備中。石英管的高純度和耐腐蝕性可確保在高溫製程中半導體材料不受污染。 -
太陽能產業
應用於光伏電池和矽片生產線,它們是高溫燒結和塗層設備的核心部件,有助於提高太陽能電池的轉換效率。 -
高溫熱處理與冶金
用作退火爐、淬火爐和燒結爐的爐襯和加熱室,可承受高達 1100℃ 的連續高溫運行,並能抵抗熱衝擊。 -
實驗室與科學研究
適用於高溫化學反應器、真空管和化學氣相沉積 (CVD) 系統,也適用於強酸腐蝕和高溫熱解等惡劣的實驗環境。 -
光纖及光電子產業
在光纖預製棒生產中用作保護套管和拉絲模具,確保光纖材料在高溫拉絲過程中的純度和均勻性。 -
環境保護與廢棄物處理
利用其耐高溫性和化學穩定性,用於高溫廢氣焚化爐和危險廢棄物處理設備中,以分解有害物質。
產品規格
產品規格
| 形狀 | 矩形、U形、V形、帶槽(1-100個槽)和特殊客製化結構。 |
| 尺寸 | 長度 50 毫米至 2000 毫米,寬度 20 毫米至 300 毫米,厚度 2 毫米至 20 毫米(可依客戶圖紙客製化)。 |
| 表面處理 | 拋光、磨砂或酸蝕表面。 |
| 配件 | 整合解決方案的石英支撐桿、擋板和蓋子。 |
常見問題解答
問 石英托盤和石英船有哪些形狀可供選擇?
我們提供多種形狀的產品,包括矩形、U形、V形和帶槽設計,槽數從1個到100個不等。我們還可以根據特定的工藝要求定制生產。
問 有哪些尺寸範圍可供選擇?尺寸可以客製嗎?
標準尺寸範圍涵蓋長度50毫米至2000毫米,寬度20毫米至300毫米,厚度2毫米至20毫米。所有尺寸均可根據客戶提供的圖紙進行完全客製化。
問 有哪些表面處理方案可供選擇?
提供三種表面處理:拋光(光滑、高透明度表面)、磨砂(霧面、不反光錶面)和酸蝕(經化學處理,提高清潔度和純度)。具體選擇取決於您的應用需求。
問 有哪些配件可以搭配石英產品使用?
我們提供石英支撐桿、擋板和蓋子作為整合解決方案的一部分,確保與您的工藝設定相容並達到最佳性能。
問 如何為我的應用客製化石英托盤或石英船?
您可以將技術圖或詳細的尺寸要求直接提交給我們的團隊。我們將審核規格,並根據您的特定要求生產零件,包括形狀、尺寸、槽型和表面處理。
問 帶槽石英托盤是否適用於晶圓或基板加工?
是的。 1 至 100 個槽的溝槽石英托盤專為在高溫擴散、氧化或沉積過程中固定晶圓、基板或其他平面元件而設計,可確保精確的間距和穩定的支撐。
包裝 和運輸




為什麼選擇 東南石英?
東南石英依托東海縣優質的石英礦資源,深入從事石英玻璃的深層加工,已成為全球客戶的核心供應商。所有產品出廠前均經過氦質譜檢漏、耐壓測試、純度測試等多項嚴格檢測,確保性能穩定、無雜質、無洩漏。

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