技術突破!東南石英成功研發出半導體級高純度石英舟,填補了國內高端耗材的空白。
2026-01-26
最近, 連雲港東南石英製品有限公司 (以下簡稱「東南石英」)宣布,其自主研發的半導體級高純度石英舟已成功通過客戶批量驗證,正式投入量產。純度為 99.999%(5N級) 本產品熱膨脹係數低至5.5×10⁻⁷/℃,可承受1200℃高溫和劇烈熱衝擊,在半導體晶圓退火和擴散製程中表現優異。它成功打破了高端石英舟領域國外品牌的長期壟斷,為國內半導體產業鏈的自主掌控提供了關鍵支撐。
作為一家多年來深度從事石英產品領域的企業,東南石英依托東海縣優質的石英礦石資源和成熟的深加工技術,成立了專門的研發團隊,歷時18個月克服了三個核心技術難題: “高純度原料純化、精密成型、無應力拋光”此新產品的內壁粗糙度Ra≤0.2μm,無金屬雜質析出,可有效避免晶圓污染,滿足7nm及以下先進製程的要求。目前,該產品已獲得多家國內領先半導體企業的訂單,月產能達5,000片,預計年產值超過3,000萬元。
東南石英總經理表示:“高端石英耗材是半導體製造的‘瓶頸’環節。我們將繼續加大研發投入,聚焦光伏、半導體、航空航天等領域,打造更多國產替代產品,助力中國高端製造業的高品質發展。”
業內專家指出,東南石英的技術突破代表了中國新材料領域自主創新的重大成就,標誌著中國向高端半導體耗材領域邁出了關鍵一步。隨著國產替代步伐的加快,中國半導體供應鏈的自主性和控制能力將持續提升,在全球半導體產業格局中佔據更舉足輕重的地位。

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