Bateau à quartz

Diffusion sur plaquette, oxydation, recuit, LPCVD, implantation ionique ; support pour plaquettes de silicium dans les procédés à haute température.

Nettoyage/séchage des plaquettes, diffusion pour la formation de jonctions PN, recuit dans la fabrication des cellules solaires.

Épitaxie de puces LED, traitement de substrats saphir/SiC, revêtement/recuit de composants optiques.

Prétraitement par recuit et revêtement pour lentilles en quartz, verre optique, prismes ; support de nettoyage de précision.

Digestion à haute température, cuves de réaction chimique corrosives, frittage/fusion de matériaux, porte-échantillons pour analyse élémentaire.

Traitement à haute température des plaquettes SiC/GaN, support d'épitaxie pour semi-conducteurs à large bande interdite.