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超高純度二氧化矽半導體解決方案

半導體石英環製造商 | 高純度石英元件

採用亞微米級數控公差、極強耐熱性(1200℃以上)和無與倫比的純度,精密加工的熔融石英和石英玻璃組件,適用於先進的半導體晶圓加工。

99.999%
超純級二氧化矽
低微量金屬污染
1200℃以上
熱阻極限
優異的熱衝擊穩定性
±0.005毫米
微型CNC公差
精密工程幾何形狀
30歲以上
全球出口市場
歐洲、美洲和亞太地區
下一代晶圓廠的精密工程

最先進的半導體石英環和精密元件

在現代積體電路(IC)製造中, 半導體石英環 在維持製程均勻性、晶圓完整性和等離子體控制方面發揮著不可或缺的作用。作為行業領先的 半導體石英產品製造商東南石英公司生產高純度聚焦環、邊緣環、絕緣環和腔室屏蔽環,專為蝕刻、擴散、氧化和化學氣相沉積 (CVD) 設備量身定制。

我們的石英元件採用優質合成和天然熔融石英製成。這確保了極低的金屬雜質含量(例如 Fe、Cu、Na 和 K

  • ✓
    精密CNC加工: 超精細多軸數控研磨、水刀輪廓加工和雷射開槽,實現精確的尺寸控制。
  • ✓
    熱耐久性和等離子耐久性: 軟化點高(1730℃),在超過1200℃的溫度下仍能保持連續運轉可靠性。
  • ✓
    極強的化學惰性: 耐腐蝕性鹵素、高密度射頻等離子場及強腐蝕性酸。
查看石英戒指規格
客製化透明石英玻璃環 耐高溫絕緣環
高純度產品組合

特色半導體石英組件

從單晶圓加工耗材到重型熱擴散設備,探索我們種類齊全的高純度熔融石英和石英硬體。

訂製透明石英玻璃戒指

訂製透明石英玻璃戒指

耐高溫絕緣和聚焦環,專為乾蝕腔和晶圓定位而設計。

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定制尺寸石英爐管

定制尺寸石英爐管

用於半導體擴散的精密熱處理管,具有均勻的壁厚和無氣泡的光學透明度。

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高級石英船

用於熱處理工藝的高級石英舟

高精度開槽載舟,確保在 LPCVD、氧化和退火過程中晶圓零變形。

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石英鐘罩

具有熱穩定性的石英鐘罩

厚壁熔石英鐘罩,可在極端高溫下提供真空密封和高結構完整性。

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熔融石英板

熔石英板 – 耐熱

超平石英基板和光學窗口,具有高紫外線/紅外線透射率和耐熱衝擊性。

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高純度石英棒

高純度石英棒/熔融石英棒

用於結構支撐、光學導光、推桿和半導體石英焊接的實心石英棒。

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等離子熔融石英錠

等離子熔融石英錠

透過高溫等離子體聚變合成的原始錠塊,具有最大密度和超低的 OH 含量。

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客製化石英產品

客製化石英玻璃加工

客製化石英儀器、三酸純化設備、歧管和精密實驗室石英器皿。

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材料性能及數據

為什麼半導體製造廠要依賴高純度石英環

在關鍵的晶圓製造作業中(包括乾式等離子體蝕刻、PECVD、LPCVD、RTP 和濕式化學清洗),石英環可確保晶圓上的電氣隔離和均勻氣體分佈。

極端環境耐受性和純度完整性

半導體製造腔室會產生極端條件:腐蝕性強的氟基或氯基等離子體、強烈的射頻 (RF) 場以及快速的熱循環。不合格的環形結構會導致顆粒剝落、微電弧放電以及嚴重的晶圓污染。

我們的 石英絕緣環 焦環的設計正是為了解決這些挑戰:

等離子蝕刻焦點 導引等離子離子軌跡平穩地到達晶圓邊緣,優化關鍵尺寸 (CD) 均勻性。
介電強度 優異的電阻率可防止雜散電擊穿和射頻功率洩漏。
低熱膨脹係數 5.5 × 10⁻⁷ /℃ 的熱膨脹係數可消除快速溫度變化過程中的微裂紋。
探索客製化工程能力
物理/熱學性能 熔融石英值 半導體影響
化學純度(SiO2) ≥ 99.995% – 99.999% 防止金屬芯片中毒
密度 2.20 克/立方厘米 緻密、無孔結構
軟化點 1730℃ 保持結構剛性
連續工作溫度 1150℃ – 1200℃ 適用於熱擴散/退火
熱膨脹係數(0-300℃) 5.5 × 10⁻⁷ / ℃ 對極端熱衝擊免疫
介電常數(1 MHz) 3.75 最佳射頻腔絕緣
品質 • 創新 • 可靠性

全球石英卓越

秉承「品質第一、客戶至上、創新驅動、誠信經營」的理念,我們的生產流程確保嚴格遵守國際標準。

01

至尊客戶

本公司秉持著「品質第一、客戶至上、創新驅動、誠信經營」的理念,建立了完善的客戶支援和品質檢驗體系,從原型製作到大量生產,提供快速回應的合作。

02

嚴格的品質管制

所有產品在出廠前均經過氦氣質譜洩漏檢測、靜水壓力耐受性測試和ICP-MS純度分析等多項測試,以確保性能穩定、無雜質夾雜、密封可靠。

03

客製化服務

同時,該公司提供靈活的客製化服務,可根據設備藍圖和先進製程要求,調整產品尺寸、開槽結構、表面處理(磨砂、火焰拋光或光學拋光)和公差。

東南石英廠簡介
公司簡介

關於東南石英

連雲港東南石英製品有限公司公司成立於2015年,坐落於江蘇省連雲港市東海縣-全國知名的矽材料核心產業基地。作為一家集研發、精密設計、自動化生產、國內銷售及進出口貿易於一體的專業製造商,公司充分利用東海縣世界一流的高純度石英礦資源。

透過深入從事石英玻璃的深加工,東南石英已發展成為光伏晶片生產、半導體製造、研究實驗室、化學合成和精密光學照明等高端石英耗材的核心供應商。

本公司擁有標準化的潔淨生產車間、高端石英加工車床、雷射切割生產線以及經驗豐富的技術研發團隊。從原料純化到成品零件加工,我們具備完整的全流程生產能力,為全球客戶提供高可靠性的熔融石英解決方案。

精密製造

產品加工及工藝展示

仔細了解我們的高溫熱熔、CNC精密成型、邊緣倒角和無塵室光學檢測工作流程。

全球足跡

深受全球客戶信賴

為全球高科技半導體製造廠、太陽能電池製造商和一流研究型大學提供品質卓越的石英元件。

品質 • 服務 • 全球佈局

憑藉可靠的產品品質、高效的快速交付能力和周到的技術售後支持,連雲港東南石英製品有限公司的產品不僅覆蓋了中國各地的主要產業集群,還出口到歐洲、北美、東南亞、東亞和中東等地。

持續創新與研究

未來,本公司將持續深耕高純度石英產品領域,不斷精進合成、CNC冷加工、等離子熔融及熱退火等技術。我們致力於為半導體晶圓廠提供高性價比、長壽命的石英耗材,協助提升晶片良率,推動科研突破。

製造能力

工廠展示及生產設施

配備重型退火爐、大容量熔煉裝置、無塵室和自動化石英管生產線。

用途廣泛的工業用途

應用於高科技領域

探索我們石英玻璃解決方案所支援的各種高溫高純度應用。

半導體和積體電路製造

關鍵晶圓處理、等離子蝕刻腔、 石英絕緣環陰影環、RTP反應器屏蔽罩和高純度製程管道。

光伏電池和太陽能電池

高容量 石英船 和 擴散爐管 專為 TOPCon、HJT 和 PERC 單晶矽晶片摻雜而設計。

特種燃燒器和化工廠

防腐蝕 氯氣和氫氣石英燃燒器用於半導體級化學品的酸蒸餾器和三酸純化系統。

精密光學與雷射技術

超平 石英板和基片 提供從深紫外線 (DUV) 到近紅外線 (NIR) 光譜的透射。

高溫工業照明

耐熱衝擊 石英燈座 以及用於工業固化和消毒系統的高溫紫外線消毒套管。

實驗室及分析測試

石英消化管燒杯、蒸餾裝置和 石英棒 用於高精度分析科學。

認證可靠性

證書展示及品質合規性

我們通過 ISO 9001 認證的生產設施嚴格遵守 REACH、RoHS 和 SGS 環境與安全標準。

品質管理系統證書

ISO品質認證

REACH合規證書

REACH認證

RoHS環境合規證書

RoHS合規性

SGS檢測證書

SGS純度認證

材料實驗室測試報告

材料實驗室測試報告

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