石英炉管
超大石英管
石英船
石英板
石英灯座
石英棒
石英戒指
定制石英产品
等离子熔融石英锭
不规则形状石英片
石英晶体歌唱金字塔
半白涂层短波红外石英加热灯
最先进的半导体石英环和精密元件
在现代集成电路（IC）制造中， 半导体石英环 在维持工艺均匀性、晶圆完整性和等离子体控制方面发挥着不可或缺的作用。作为行业领先的 半导体石英产品制造商东南石英公司生产高纯度聚焦环、边缘环、绝缘环和腔室屏蔽环，专为蚀刻、扩散、氧化和化学气相沉积 (CVD) 设备量身定制。
我们的石英元件采用优质合成和天然熔融石英制成。这确保了极低的金属杂质含量（例如 Fe、Cu、Na 和 K
- ✓ 精密数控加工： 超精细多轴数控磨削、水刀轮廓加工和激光开槽，实现精确的尺寸控制。
- ✓ 热耐久性和等离子耐久性： 软化点高（1730℃），在超过1200℃的温度下仍能保持连续运行可靠性。
- ✓ 极强的化学惰性： 耐腐蚀性卤素、高密度射频等离子场和强腐蚀性酸。
特色半导体石英组件
从单晶圆加工耗材到重型热扩散设备，探索我们种类齐全的高纯度熔融石英和石英硬件。
为什么半导体制造厂依赖高纯度石英环
在关键的晶圆制造操作中（包括干法等离子体刻蚀、PECVD、LPCVD、RTP 和湿法化学清洗），石英环可确保晶圆上的电气隔离和均匀气体分布。
极端环境耐受性和纯度完整性
半导体制造腔室会产生极端条件：腐蚀性强的氟基或氯基等离子体、强烈的射频 (RF) 场以及快速的热循环。不合格的环形结构会导致颗粒剥落、微电弧放电以及严重的晶圆污染。
我们的 石英绝缘环 对焦环的设计正是为了解决这些挑战：
| 物理/热学性能 | 熔融石英值 | 半导体影响 |
|---|---|---|
| 化学纯度（SiO2） | ≥ 99.995% – 99.999% | 防止金属晶片中毒 |
| 密度 | 2.20 克/立方厘米 | 致密、无孔结构 |
| 软化点 | 1730℃ | 保持结构刚性 |
| 连续工作温度 | 1150℃ – 1200℃ | 适用于热扩散/退火 |
| 热膨胀系数（0-300℃） | 5.5 × 10⁻⁷ / ℃ | 对极端热冲击免疫 |
| 介电常数（1 MHz） | 3.75 | 最佳射频腔绝缘 |
全球石英卓越
秉承“质量第一、客户至上、创新驱动、诚信经营”的理念，我们的生产流程确保严格遵守国际标准。
至尊客户
公司秉承“质量第一、客户至上、创新驱动、诚信经营”的理念，建立了完善的客户支持和质量检验体系，从原型制作到批量生产，提供快速响应的合作。
严格的质量控制
所有产品在出厂前均经过氦气质谱泄漏检测、静水压力耐受性测试和ICP-MS纯度分析等多项测试，以确保性能稳定、无杂质夹杂、密封可靠。
定制服务
同时，该公司提供灵活的定制服务，可根据设备蓝图和先进工艺要求，调整产品尺寸、开槽结构、表面处理（磨砂、火焰抛光或光学抛光）和公差。
关于东南石英
连云港东南石英制品有限公司公司成立于2015年，坐落于江苏省连云港市东海县——全国知名的硅材料核心产业基地。作为一家集研发、精密设计、自动化生产、国内销售及进出口贸易于一体的专业制造商，公司充分利用东海县世界一流的高纯度石英矿资源。
通过深入从事石英玻璃的深加工，东南石英已发展成为光伏晶片生产、半导体制造、研究实验室、化学合成和精密光学照明等高端石英耗材的核心供应商。
公司拥有标准化的洁净生产车间、高端石英加工车床、激光切割生产线以及经验丰富的技术研发团队。从原材料提纯到成品零件加工，我们具备完整的全流程生产能力，为全球客户提供高可靠性的熔融石英解决方案。
产品加工及工艺展示
仔细了解一下我们的高温热熔、CNC精密成型、边缘倒角和洁净室光学检测工作流程。
深受全球客户信赖
为全球高科技半导体制造厂、太阳能电池制造商和一流研究型大学提供品质卓越的石英元件。
品质 • 服务 • 全球布局
凭借可靠的产品质量、高效的快速交付能力和周到的技术售后支持，连云港东南石英制品有限公司的产品不仅覆盖了中国各地的主要产业集群，还出口到欧洲、北美、东南亚、东亚和中东等地。
持续创新与研究
未来，公司将继续深耕高纯石英产品领域，不断精进合成、CNC冷加工、等离子熔融和热退火等技术。我们致力于为半导体晶圆厂提供高性价比、长寿命的石英耗材，助力提升芯片良率，推动科研突破。
工厂展示及生产设施
配备重型退火炉、大容量熔炼装置、洁净室和自动化石英管生产线。
应用于高科技领域
探索我们石英玻璃解决方案所支持的各种高温高纯度应用。
证书展示及质量合规性
我们通过 ISO 9001 认证的生产设施严格遵守 REACH、RoHS 和 SGS 环境与安全标准。
ISO质量认证
REACH认证
RoHS合规性
SGS纯度认证
