產品

三口石英鼓泡器/石英氣源瓶/濕氧氣瓶

本產品為三口鼓泡源瓶，採用高純度熔融石英（SiO₂ ≥ 99.99%）一體焊接而成。它由瓶體和帶有三個石英浸管的石英蓋組成。作為半導體、光伏擴散、MOCVD 和實驗室氣相反應製程的關鍵高純度容器，它可盛裝液態前驅體或濕氧介質；透過向液體中鼓泡載氣產生蒸汽，確保穩定的氣體供應。此外，它也可用作反應容器或氣體清洗瓶。

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結構規格

容器主體：錐形或圓柱形透明石英腔；可直觀地監測液位；採用整合式熱處理製程製造；防漏設計。

頂蓋：厚壁扁平石英蓋；與容器主體精密貼合。

三根石英浸管：一根中央大直徑管和兩根側管（直徑較小）；長度和內/外徑可定制；指定用於氣體入口、氣體出口和備用/溫度監控端口；插入深度可根據具體製程要求進行調整。

核心材料特性

超高純度

SiO₂ ≥ 99.99%；金屬雜質含量極低；不會給予製程引入污染物；適用於半導體晶圓製造。
耐高溫

長期工作溫度為 1100–1200°C；耐熱衝擊；在快速加熱或冷卻循環中不太可能開裂。
化學惰性

耐強酸和強氧化劑腐蝕（氫氟酸除外）；與 POCl₃、濕式氧化製程和各種高純度液體前驅體相容。
高光學透明度

在紫外光和紅外光波段具有高透射率；可以清晰地觀察液位和氣泡活動。
低脫氣量和雜質釋放

高溫下不釋放揮發性雜質；確保製程穩定性和高生產率。

應用區域

半導體產業：矽晶片擴散和氧化製程（濕式氧化）；CVD/ALD 前驅體輸送。
光伏產業：太陽能電池的磷擴散；POCl₃（氯氧化磷）源的控制。
科學研究實驗室：氣相反應、氣體洗滌、鼓泡吸收和光催化實驗。
先進材料：MOCVD、氣相沉積和特殊氣體輸送系統。

產品優勢

- 全石英焊接結構；不使用黏合劑；高溫下無黏合失效或氣體逸出的風險。

- 可依客戶圖完全客製尺寸：體積、頸部設計、管口、管長和連接方式均可依具體需求進行客製化。

- 精密拋光的內壁；最大限度減少液體吸附和顆粒黏附。

- 清潔包裝；可與酸洗和超音波清洗相容，以滿足高純度製程要求。

產品精彩片段

雜質含量極低的高純度石英材料。
耐高溫和酸鹼腐蝕。
三端口設計，設有專用的進水口及出水口。
一體成型焊接結構，確保優異的密封性和零洩漏。
透明腔室可即時監測液位和氣泡狀態。
支援定制規格（非標準設計）。
應用領域：半導體製造、光伏擴散和濕式氧化製程。

常問問題

問：容量和管長可以客製化嗎？

答：是的，容量範圍從50毫升到5000毫升。管長和管徑可依圖面訂製。
Q：最高工作溫度是多少？能承受熱循環嗎？

答：連續工作溫度最高可達1100℃，峰值可達1200℃。在適當操作條件下，可承受重複的熱循環，但應避免劇烈的溫度衝擊。
Q：是否提供酸性清洗服務？

答：是的，可提供符合半導體級要求的酸洗和潔淨包裝。