产品

三口石英鼓泡器/石英气源瓶/湿氧气瓶

本产品为三口鼓泡源瓶，采用高纯度熔融石英（SiO₂ ≥ 99.99%）一体焊接而成。它由瓶体和带有三个石英浸管的石英盖组成。作为半导体、光伏扩散、MOCVD 和实验室气相反应工艺的关键高纯度容器，它可盛装液态前驱体或湿氧介质；通过向液体中鼓泡载气产生蒸汽，确保稳定的气体供应。此外，它还可用作反应容器或气体清洗瓶。

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结构规格

容器主体：锥形或圆柱形透明石英腔；可直观地监测液位；采用集成热处理工艺制造；防漏设计。

顶盖：厚壁扁平石英盖；与容器主体精密贴合。

三根石英浸管：一根中央大直径管和两根侧管（直径较小）；长度和内/外径可定制；指定用于气体入口、气体出口和备用/温度监控端口；插入深度可根据具体工艺要求进行调整。

核心材料特性

超高纯度

SiO₂ ≥ 99.99%；金属杂质含量极低；不会给工艺引入污染物；适用于半导体晶圆制造。
耐高温

长期工作温度为 1100–1200°C；耐热冲击；在快速加热或冷却循环中不太可能开裂。
化学惰性

耐强酸和强氧化剂腐蚀（氢氟酸除外）；与 POCl₃、湿式氧化工艺和各种高纯度液体前驱体兼容。
高光学透明度

在紫外光和红外光波段具有高透射率；可以清晰地观察液位和气泡活动。
低脱气量和杂质释放

高温下不释放挥发性杂质；确保工艺稳定性和高生产率。

应用区域

半导体行业：硅晶片扩散和氧化工艺（湿式氧化）；CVD/ALD 前驱体输送。
光伏产业：太阳能电池的磷扩散；POCl₃（氯氧化磷）源的控制。
科学研究实验室：气相反应、气体洗涤、鼓泡吸收和光催化实验。
先进材料：MOCVD、气相沉积和特种气体输送系统。

产品优势

- 全石英焊接结构；不使用粘合剂；高温下无粘合失效或气体逸出的风险。

- 可根据客户图纸完全定制尺寸：体积、颈部设计、管口、管长和连接方式均可根据具体需求进行定制。

- 精密抛光的内壁；最大限度减少液体吸附和颗粒粘附。

- 清洁包装；可与酸洗和超声波清洗兼容，以满足高纯度工艺要求。

产品精彩片段

杂质含量极低的高纯度石英材料。
耐高温和酸碱腐蚀。
三端口设计，设有专用的进水口和出水口。
一体式焊接结构，确保优异的密封性和零泄漏。
透明腔室可实时监测液位和气泡状态。
支持定制规格（非标准设计）。
应用领域：半导体制造、光伏扩散和湿式氧化工艺。

常问问题

问：容量和管长可以定制吗？

答：是的，容量范围从50毫升到5000毫升。管长和管径可根据图纸定制。
问：最高工作温度是多少？能承受热循环吗？

答：连续工作温度最高可达1100℃，峰值可达1200℃。在适当操作条件下，可承受反复的热循环，但应避免剧烈的温度冲击。
问：是否提供酸性清洗服务？

答：是的，可提供符合半导体级要求的酸洗和洁净包装。